电镀挂具和电镀装置
实质审查的生效
摘要

本申请公开了电镀挂具和电镀装置,所述电镀挂具包括下载板、正面固定结构、背面固定结构、第一导电结构、第二导电结构和阴极接口,所述下载板的正面设有用于放置晶圆的第一晶圆槽,所述下载板的背面上设有放置晶圆的第二晶圆槽,正面固定结构、第一导电结构与第一晶圆槽对应,背面固定结构、第二导电结构与第二晶圆槽对应。本申请通过在电镀挂具的正反两面同时设置容纳两种晶圆的晶圆槽,且对应设置固定结构和导电结构,使得电镀挂具能够同时固定两个晶圆,且使两个晶圆进行电镀;而且固定在电镀挂具正面和反面的晶圆型号可以不同,这样电镀挂具可同时使不同型号的晶圆进行电镀,提高了电镀挂具的适用性。

基本信息
专利标题 :
电镀挂具和电镀装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114381789A
申请号 :
CN202110289988.8
公开(公告)日 :
2022-04-22
申请日 :
2021-03-18
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
王东升孔跃春王国峰
申请人 :
青岛惠芯微电子有限公司;青岛惠科微电子有限公司;北海惠科半导体科技有限公司
申请人地址 :
山东省青岛市即墨区北安街道办事处太吉路1号
代理机构 :
深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
邢涛
优先权 :
CN202110289988.8
主分类号 :
C25D17/08
IPC分类号 :
C25D17/08  C25D7/12  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C25
电解或电泳工艺;其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法;电铸;工件的电解法接合;所用的装置
C25D17/00
电解镀覆用电解槽的结构件、或其组合件
C25D17/06
施镀制品的悬挂或支承装置
C25D17/08
挂具
法律状态
2022-05-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C25D 17/08
申请日 : 20210318
2022-04-22 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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