高温高压的钳位保护的器件结构及制造方法

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摘要

本发明公开了高温高压的钳位保护的器件结构及制造方法。高温高压的钳位保护的器件结构，包括重型掺磷衬底，重型掺磷衬底上方设有高阻区；高阻区的中央开设有主沟槽，主沟槽内形成结终端延伸区，结终端延伸区的右端底部开设有沟槽，沟槽内形成基区，基区内形成有发射区；高阻区的上方形成有氧化层；还包括左右设置的基区金属连接层以及发射区金属连接层，基区金属连接层与发射区金属连接层位于氧化层的上方，且基区金属连接层与基区短接，发射区金属连接层与发射区短接；还包括铝钳位保护结构，铝钳位保护结构与基区短接，且位于基区的外围。铝钳位保护可以将高温高压下的可动电荷屏蔽在基区主结外部，减小聚集的电荷对主结的影响。

基本信息

专利标题：

高温高压的钳位保护的器件结构及制造方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN113517339A

申请号：

CN202110307360.6

公开（公告）日：

2021-10-19

申请日：

2021-03-23

授权号：

CN113517339B

授权日：

2022-05-24

发明人：

许柏松陈晓伦徐永斌叶新民沈晓东朱瑞赵飞欧应辉任艳炯

申请人：

江苏新顺微电子股份有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市江阴市长山大道78号

代理机构：

上海申浩律师事务所

代理人：

赵建敏

优先权：

CN202110307360.6

主分类号：

H01L29/735

IPC分类号：

H01L29/735 H01L29/06 H01L21/331