集成滤光器和光电检测器及其制造方法
公开
摘要
根据本公开，本文描述了集成滤光器和光电检测器及其制造方法。本文描述的集成滤光器和光电检测器的示例包括衬底、所述衬底上的绝缘体层、以及所述绝缘体层上的半导体层。在所述半导体层中或所述半导体层上形成具有谐振腔的滤光器。所述集成滤光器和光电检测器进一步包括在所述半导体层上形成肖特基势垒的两个第一金属指状物、和第二金属指状物，所述第二金属指状物交错位于所述两个第一金属指状物之间。所述第一金属指状物由相对于所述第二金属指状物不同的金属构建。
基本信息
专利标题 ：
集成滤光器和光电检测器及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114388648A
申请号 ：
CN202110373394.5
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2021-04-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
袁源黄志宏梁迪曾小鸽
申请人 ：
慧与发展有限责任合伙企业
申请人地址 ：
美国德克萨斯州
代理机构 ：
北京市汉坤律师事务所
代理人 ：
初媛媛
优先权 ：
CN202110373394.5
主分类号 ：
H01L31/101
IPC分类号 ：
H01L31/101 H01L31/02 H01L31/0216 H01L31/0232
法律状态
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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