本申请提供一种氢化复合物薄膜的制备方法和滤光器，涉及光学薄膜滤光器技术领域，包括在反应室内通入惰性气体和氢气，采用惰性气体形成的等离子体轰击反应室内的至少两种材料和通入的氢气，以使至少两种材料溅射至基片上，并和氢气产生的氢离子反应形成氢化复合物薄膜层。氢化复合物薄膜层至少包括了两种材料，采用溅射技术，将至少两种材料共溅射到同一基片上得到所需的材料性能，可得到700nm‑1800nm波长下折射率大于3.5、消光系数可小于0.005的氢化复合物薄膜层，氢化复合物薄膜对于光的折射率更高，吸收更小，在光线大角度入射的情况下，中心波长随角度偏移量较小，使得以此制备的滤光器的大角度低偏移效应更好。