本发明公开了一种氢化硅碳氮氧透明超疏水薄膜的制备方法，包括如下步骤：以高纯甲烷、氨气、笑气和氢气稀释的硅烷混合气为工作气体，通过等离子体增强化学气相沉积技术在玻璃基片表面制备透明氢化硅碳氮氧薄膜；采用PECVD技术以四氟化碳为工作气体对氢化硅碳氮氧薄膜实施等离子体刻蚀。通过上述两步骤便可获得一种具有优异超疏水、自清洁和透明性能的氢化硅碳氮氧薄膜。同时，这种薄膜还具有优异的耐腐蚀、耐磨和耐酸碱性能，并且在玻璃基底表面拥有很好的附着力。本发明公开的这种氢化硅碳氮氧透明超疏水薄膜在太阳能电池板、汽车挡风玻璃、相机镜头、护目镜、智能窗户的疏水防污方面具有很好的应用潜力。