一种毛细管通道制备装置
授权
摘要
本发明涉及一种毛细管通道制备装置,包括第二反射镜、第三反射镜、偏振片、扩束系统、光束方向调节系统、分束片、可移动凸透镜、二维电动平行台和激光振荡器,激光振荡器产生的飞秒激光依次经过第二反射镜第三反射镜、偏振片、扩束系统、光束方向调节系统、分束片、可移动凸透镜射入二维电动平行台上的刻蚀样品表面,其中刻蚀样品跟随二维电动平行台共同移动,可移动凸透镜调节自身位置,使得可移动凸透镜的焦点始终位于刻蚀样品的表面,实现对样品材料不同深度刻蚀,从而制备变径、交汇和弯曲的毛细管道。
基本信息
专利标题 :
一种毛细管通道制备装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113109915A
申请号 :
CN202110379381.9
公开(公告)日 :
2021-07-13
申请日 :
2021-04-08
授权号 :
CN113109915B
授权日 :
2022-04-22
发明人 :
林晨杨童晏炀
申请人 :
北京大学
申请人地址 :
北京市海淀区颐和园路5号
代理机构 :
北京高沃律师事务所
代理人 :
刘凤玲
优先权 :
CN202110379381.9
主分类号 :
G02B7/04
IPC分类号 :
G02B7/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B7/00
光学元件的安装、调整装置或不漏光连接
G02B7/02
用于透镜
G02B7/04
有聚焦或改变放大率的机构
法律状态
2022-04-22 :
授权
2021-07-30 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 7/04
申请日 : 20210408
申请日 : 20210408
2021-07-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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