一种具有多种工作模式的时间分辨试样检查装置
授权
摘要

本发明属于超快电子显微成像技术领域,具体涉及一种具有多种工作模式的时间分辨试样检查装置,通过在超快脉冲电子源与进行试样检查的超高真空腔体之间加装楔形的连接法兰,并结合多轴试样传输与调整系统的三维平移及两维旋转特性,对试样表面与检查电子轴线的空间关系进行调整,实现两种检查布局;通过改进超快脉冲电子源,在可调节与检查腔体空间关系的基础上实现了出射电子束会聚角可调,从而与两种检查布局结合形成多种工作模式,并通过腔体布局的设计创新集成了试样原位处理与表征及储存等功能,使超快电子显微技术所能检查的试样类型拓展到清洁表面及吸附层等以前不利于检查的多种类试样,以及利用不同衍射方式检查更多类型的结构动态信息。

基本信息
专利标题 :
一种具有多种工作模式的时间分辨试样检查装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113203761A
申请号 :
CN202110427124.8
公开(公告)日 :
2021-08-03
申请日 :
2021-04-21
授权号 :
CN113203761B
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
梁文锡胡春龙叶昶
申请人 :
华中科技大学
申请人地址 :
湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
代理机构 :
华中科技大学专利中心
代理人 :
尹丽媛
优先权 :
CN202110427124.8
主分类号 :
G01N23/20058
IPC分类号 :
G01N23/20058  G01N23/2276  G01N27/62  G01N21/84  G01N21/01  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料,例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/20
利用材料辐射的衍射,例如,用于测试晶体结构;利用材料辐射的散射,例如测试非晶材料;利用材料辐射的反射
G01N23/20058
通过测量电子衍射,如低能电子衍射法或反射高能电子衍射法
法律状态
2022-04-01 :
授权
2021-08-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 23/20058
申请日 : 20210421
2021-08-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332