一种干涉测量系统的减振反馈系统及其检测方法
授权
摘要
本发明涉及一种干涉测量系统的减振反馈系统及其检测方法。保证干涉测量系统和机床大理石工作台保证相对静止，进而提高原位干涉测量系统的检测精度。本发明通过采集加速度传感器的信号f1和压电传感器的信号f2；然后，两信号相减得到信号f3，将信号f3进行取反处理；再通过PID调节，控制音圈电机产生反作用力，对干涉测量系统的动态微运动进行控制，保证干涉测量系统和机床大理石工作台保证相对静止。当信号f2极小或等于零时，信号f3取反后，推动音圈电机可以抵消干涉测量系统的振动，保持静止。
基本信息
专利标题 ：
一种干涉测量系统的减振反馈系统及其检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113211164A
申请号 ：
CN202110430704.2
公开（公告）日 ：
2021-08-06
申请日 ：
2021-04-21
授权号 ：
CN113211164B
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
朱学亮张梦瑶南丹荣田爱玲王红军刘丙才
申请人 ：
西安工业大学
申请人地址 ：
陕西省西安市未央区学府中路2号
代理机构 ：
西安新思维专利商标事务所有限公司
代理人 ：
黄秦芳
优先权 ：
CN202110430704.2
主分类号 ：
B23Q11/00
IPC分类号 ：
B23Q11/00 B23Q17/00 B23Q17/24
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B23
机床；其他类目中不包括的金属加工
B23Q
机床的零件、部件或附件，如仿形装置或控制装置；以特殊零件或部件的结构为特征的通用机床；不针对某一特殊金属加工用途的金属加工机床的组合或联合
B23Q11/00
适用于保持刀具或机床部件良好的工作状态或者适用于工件冷却的安装在机床附件；专门组合于，或配置于，或专门适用于，有关机床的安全设备
法律状态
2022-04-08 ：
授权
2021-08-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B23Q 11/00
申请日 : 20210421
申请日 : 20210421
2021-08-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
