本发明提供了一种共掺杂氧化锌纳米线阵列及其制备方法、光电子器件，该制备方法包括以下步骤：提供一衬底；将金属氧化物以及还原剂混合，得到混合料；将衬底置于管式炉中的石英管内一侧，将混合料置于管式炉中的石英管内另一侧；向石英管内通入氮源，分别控制衬底、混合料为不同的温度并保温，反应后得到共掺杂氧化锌纳米线阵列。本方法通过在石英管内设置两个不同的温区，利用化学气相沉积法，生长金属和氮双元素共掺杂的氧化锌纳米线阵列，采用该方法实现了金属元素和N元素的双元素共掺氧化锌纳米线阵列的制备，拓宽了氧化锌基光电器件的应用前景。