用于化学机械抛光工艺的保持环的制作方法
公开
摘要
本发明涉及金属塑料复合材料加工技术领域，更具体地，本发明涉及用于半导体芯片化学机械抛光工艺的保持环的制作方法。包括不锈钢环腐蚀、不锈钢环与塑料的结合。本发明首先对不锈钢环进行腐蚀处理，使不锈钢环表面形成微孔洞，且形成的孔洞具有表面口径小，内部孔径大的特殊收口结构，可以形成50‑1000μm孔径的孔穴。随后将塑料以注塑成型方式成型在不锈钢环表面，由于熔融状态下的塑料在注塑压力的作用下被压入微孔洞内，因此待塑料冷却固化后，由于微孔收口结构的存在，塑料便可牢固的附着于不锈钢环表面，同时通过设计注塑模具结构，可以直接将高分子聚合物注塑成最终成品的形状结构，节省大量的加工工序和大量加工成本。
基本信息
专利标题 ：
用于化学机械抛光工艺的保持环的制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114619364A
申请号 ：
CN202110464132.X
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2021-04-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
相红旗陈浩聪姚力军潘杰
申请人 ：
宁波赢伟泰科新材料有限公司;宁波江丰电子材料股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市余姚市三七市镇云山中路28号(千人计划产业园内)(自主申报)
代理机构 ：
上海微策知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张静
优先权 ：
CN202110464132.X
主分类号 ：
B24B37/32
IPC分类号 ：
B24B37/32 B29C45/14 B29C45/77 B29C45/78
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/27
工件载体
B24B37/30
用于平面的单侧研磨
B24B37/32
保持环
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
