一种化学机械抛光保持环
授权
摘要
本实用新型公开了一种化学机械抛光保持环，涉及化学机械抛光技术领域，包括抛光保持环本体，所述抛光保持环本体包括金属部本体、粘结层、非金属部、第一耐高温层、第一耐磨层、第一防护层、第二耐高温层、第二耐磨层和第二防护层，所述金属部本体的顶部与粘结层的底部固定连接，所述粘结层的顶部与非金属部的底部固定连接，所述非金属部的顶部与第一耐高温层的底部固定连接。该化学机械抛光保持环，通过抛光保持环本体、第一耐高温层、第一耐磨层、第二耐高温层和第二耐磨层的结构，可以使抛光保持环本体具有耐高温和耐磨的性能，提高抛光保持环本体的使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种化学机械抛光保持环
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022462029.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-30
授权号 ：
CN213858733U
授权日 ：
2021-08-03
发明人 ：
张瑞军
申请人 ：
江门市蓬江区泰德利机械设备有限公司
申请人地址 ：
广东省江门市蓬江区杜阮镇松岭工业区松香山一路5号C栋
代理机构 ：
江门市博盈知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
何办君
优先权 ：
CN202022462029.5
主分类号 ：
B24B37/32
IPC分类号 ：
B24B37/32
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/27
工件载体
B24B37/30
用于平面的单侧研磨
B24B37/32
保持环
法律状态
2021-08-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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