一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头
授权
摘要
本实用新型涉及化学机械抛光技术领域，且公开了一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头，包括抛光机输出主轴，抛光机输出主轴的下端连接有化学机械抛光承载头；化学机械抛光承载头的侧壁上对称开设有多个定位螺栓连接孔，化学机械抛光承载头上安装有便捷化学机械抛光保持环；便捷化学机械抛光保持环的两侧均连接有便捷拆装连接把手；便捷拆装连接把手的外表面设置有定位螺栓。该化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头，通过化学机械抛光承载头和多个定位螺栓连接孔配合使用，使保持环与晶圆的距离能够达到最佳位置，防止晶圆出现过抛现象，能够有效的避免金属离子污染和保持环与晶圆发生机械碰撞，提升了设备的实用效果和安全性能。
基本信息
专利标题 ：
一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022073530.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-21
授权号 ：
CN213858731U
授权日 ：
2021-08-03
发明人 ：
刘建业
申请人 ：
江门市蓬江区泰德利机械设备有限公司
申请人地址 ：
广东省江门市蓬江区杜阮镇松岭工业区松香山一路5号C栋
代理机构 ：
江门市博盈知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
何办君
优先权 ：
CN202022073530.2
主分类号 ：
B24B37/30
IPC分类号 ：
B24B37/30 B24B37/32
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/27
工件载体
B24B37/30
用于平面的单侧研磨
法律状态
2021-08-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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