用于化学机械抛光的承载头和用于化学机械抛光的系统
授权
摘要
一种用于化学机械抛光的承载头，包含：基座组件连接至所述基座组件的膜组件。所述膜组件包含：膜支撑件、固定至所述膜支撑件的内膜、和固定至所述膜支撑件并且在所述内膜下方延伸的外膜，其中所述内膜在膜的上表面与所述膜支撑件之间形成多个可单独加压的内部腔室，所述外膜具有内表面和外表面，其中所述外膜在所述外膜的所述内表面与所述内膜的下表面之间界定下部可加压腔室，其中所述内表面被定位成在所述多个腔室中的一个或多个腔室被加压时与所述内膜的下表面接触，并且其中所述外表面被配置为接触基板。本文还提供了一种用于化学机械抛光的系统。
基本信息
专利标题 ：
用于化学机械抛光的承载头和用于化学机械抛光的系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021775073.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-24
授权号 ：
CN214135511U
授权日 ：
2021-09-07
发明人 ：
史蒂文·M·苏尼加杰伊·古鲁萨米安德鲁·J·纳甘盖斯特
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN202021775073.5
主分类号 ：
B24B37/04
IPC分类号 ：
B24B37/04 B24B37/30 B24B37/32 B24B37/34
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/04
适用于加工平面的
法律状态
2021-09-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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