一种高厚度曲面DLC制品及其制备方法和应用
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摘要
本发明公开了一种高厚度曲面DLC制品及其制备方法和应用，所述制备方法包括如下步骤，S1.衬底放置于PVD炉内，开启石墨靶源和离子源电源，施加‑10～‑100V的沉积偏压，所述偏压呈梯度增长；调节电流从10～3A梯度减少；沉积时间为50～90h，得到含有衬底的DLC层；S2.将步骤S1得到的产品进行腐蚀去除衬底，即得所述高厚曲面DLC制品。所述高厚度曲面DLC制品没有发生开裂脱落现象。
基本信息
专利标题 ：
一种高厚度曲面DLC制品及其制备方法和应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113278921A
申请号 ：
CN202110482494.1
公开（公告）日 ：
2021-08-20
申请日 ：
2021-04-30
授权号 ：
CN113278921B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
陈汪林李喆黄勇浩王成勇伍达尧
申请人 ：
广东工业大学
申请人地址 ：
广东省广州市越秀区东风东路729号
代理机构 ：
广州粤高专利商标代理有限公司
代理人 ：
陈嘉毅
优先权 ：
CN202110482494.1
主分类号 ：
C23C14/06
IPC分类号 ：
C23C14/06 C23C14/02 C23C14/54 C25F3/02 F28F21/08
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IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2021-09-07 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/06
申请日 : 20210430
申请日 : 20210430
2021-08-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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