一种用于吸气剂粉尘隔离的滤膜及其制造方法
授权
摘要
本发明提出一种用于吸气剂粉尘隔离的滤膜的制造方法，包括：S1，制备金属掺杂XO2凝胶；S2，将XO2凝胶均匀涂覆在支撑膜上，所述支撑膜耐高温、具有纳米孔以及能被XO2凝胶均匀涂覆；S3，高温煅烧。本发明还提出一种用于吸气剂粉尘隔离的滤膜，包括：支撑膜和金属掺杂XO2膜，其中金属掺杂XO2膜通过溶胶凝胶涂覆法涂覆在支撑膜上，然后经过高温煅烧形成所述金属掺杂陶瓷纳滤膜，所述支撑膜耐高温、具有纳米孔以及能被XO2凝胶均匀涂覆。本发明能有效防止吸气剂颗粒脱落掉入真空腔，消除了激光器件真空腔受粉尘的影响。
基本信息
专利标题 ：
一种用于吸气剂粉尘隔离的滤膜及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113262647A
申请号 ：
CN202110520674.4
公开（公告）日 ：
2021-08-17
申请日 ：
2021-05-13
授权号 ：
CN113262647B
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
卢广锋王凡王飞
申请人 ：
湖南二零八先进科技有限公司
申请人地址 ：
湖南省长沙市开福区芙蓉北路街道金马路377号福天兴业综合楼407房
代理机构 ：
北京山允知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
胡冰
优先权 ：
CN202110520674.4
主分类号 ：
B01D71/02
IPC分类号 ：
B01D71/02 B01D53/22 B01D67/00 G01C19/72 G01C25/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D71/00
以材料为特征的用于分离工艺或设备的半透膜；其专用制备方法
B01D71/02
无机材料
法律状态
2022-05-24 ：
授权
2021-09-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B01D 71/02
申请日 : 20210513
申请日 : 20210513
2021-08-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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