一种硅腐蚀液及其生产工艺
授权
摘要
本发明公开了一种硅腐蚀液，包括以下重量份的原料：氢氟酸8‑12份、硝酸70‑78份、去离子水15‑25份、复合缓蚀剂6‑13份。且本发明利用了吡啶‑4‑甲醛为底物，使其与甲苯、高锰酸钾、二乙烯三胺、硫脲逐步反应形成了复合缓蚀剂；该复合缓释剂通过分子中的氮原子、硫原子、分子机构的大π键与金属形成配位键或化学共价键，在金属表面形成一层致密的疏水膜，阻碍了溶液中的氢离子对金属的腐蚀，但是该复合缓释剂中的的氮原子、硫原子、分子机构的大π键不能与硅形成配位键或共价键，不能在硅表面形成保护膜，不影响腐蚀液对硅的腐蚀行为，实现了对硅腐蚀高效，同时对金属腐蚀低效。
基本信息
专利标题 ：
一种硅腐蚀液及其生产工艺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113563889A
申请号 ：
CN202110646437.2
公开（公告）日 ：
2021-10-29
申请日 ：
2021-06-10
授权号 ：
CN113563889B
授权日 ：
2022-05-20
发明人 ：
戈烨铭何珂汤晓春
申请人 ：
江阴润玛电子材料股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市江阴市周庄镇欧洲工业园区
代理机构 ：
江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹键
优先权 ：
CN202110646437.2
主分类号 ：
C09K13/08
IPC分类号 ：
C09K13/08 C07D401/14 C23F11/16
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C09
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09K
不包含在其他类目中的各种应用材料；不包含在其他类目中的材料的各种应用
C09K13/00
蚀刻，表面光亮或浸蚀组合物
C09K13/04
含一种无机酸
C09K13/08
含一种氟化物
法律状态
2022-05-20 ：
授权
2021-11-16 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C09K 13/08
申请日 : 20210610
申请日 : 20210610
2021-10-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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