断裂韧性的检测样品及其检测方法
授权
摘要
本发明实施例提供了一种断裂韧性的检测样品及其检测方法。其中，所述断裂韧性的检测方法，包括：提供待测半导体结构；选择所述待测半导体结构中的具有目标尺寸的部分区域作为待测试区域；去除所述目标尺寸周围的结构，以使所述待测试区域形成悬臂梁结构；在所述待测试区域中形成具有目标深度的凹槽；在距离所述凹槽第一距离处，对所述待测试区域施加载荷；确定所述待测试区域在所述凹槽断裂时，保存施加的载荷值；利用所述目标尺寸、目标深度、第一距离以及保存的载荷值，分析所述待测试区域的断裂韧性。
基本信息
专利标题 ：
断裂韧性的检测样品及其检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113466038A
申请号 ：
CN202110686879.X
公开（公告）日 ：
2021-10-01
申请日 ：
2021-06-21
授权号 ：
CN113466038B
授权日 ：
2022-05-20
发明人 ：
徐齐王超
申请人 ：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
代理机构 ：
北京派特恩知识产权代理有限公司
代理人 ：
陈仙子
优先权 ：
CN202110686879.X
主分类号 ：
G01N3/08
IPC分类号 ：
G01N3/08 G01N3/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N3/00
用机械应力测试固体材料的强度特性
G01N3/08
施加稳定的张力或压力
法律状态
2022-05-20 ：
授权
2021-10-26 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 3/08
申请日 : 20210621
申请日 : 20210621
2021-10-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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