一种基于压电薄膜形变的差动式微型电场传感器件
授权
摘要

一种基于压电薄膜形变的差动式微型电场传感器件,包括沿水平方向放置的可自由振动的压电薄膜,压电薄膜两侧附着电极,电极两侧设绝缘层,绝缘层和电极间留有空隙,下导电层附着在绝缘层远离压电薄膜的一侧,电极两侧的两端分别形成有绝缘支撑结构,压电薄膜、电极、绝缘层、绝缘支撑结构、下导电层形成空腔;在压电薄膜两侧的相同端的绝缘支撑结构中引出有导电柱,导电柱与电极相连;压电薄膜的两侧结构以压电薄膜对称分布,形成两个电容,两个电容形成并联结构;下导电层和导电柱分别与外部电容测量设备连接,用于对电容进行测量。本发明的器件,体积小、制造成本低,具有良好的线性度和较高的灵敏度,能够满足电网及设备内部的电场测量需求。

基本信息
专利标题 :
一种基于压电薄膜形变的差动式微型电场传感器件
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113640591A
申请号 :
CN202111043968.9
公开(公告)日 :
2021-11-12
申请日 :
2021-09-07
授权号 :
CN113640591B
授权日 :
2022-04-29
发明人 :
何金良韩志飞胡军张波
申请人 :
清华大学
申请人地址 :
北京市海淀区清华园
代理机构 :
北京众合诚成知识产权代理有限公司
代理人 :
张文宝
优先权 :
CN202111043968.9
主分类号 :
G01R29/12
IPC分类号 :
G01R29/12  G01R27/26  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R29/00
不包括在G01R19/00至G01R27/00各组中的电量的测量或指示装置
G01R29/12
静电场的测量
法律状态
2022-04-29 :
授权
2021-11-30 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 29/12
申请日 : 20210907
2021-11-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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