本申请公开了一种光刻机参数状态检测方法、装置、设备及其存储介质，该方法包括获取工作时的光刻机的各种工作参数；将各种工作参数转换成对应的工作图形界面并量化；对比工作图形界面与对应的正常图形界面的偏差，若偏差在预设范围内，则工作时的光刻机指标合格；若偏差超过预设范围，则工作时的光刻机出现故障。本申请提供的上述技术方案，通过将工作时的光刻机的各种工作参数转换成对应的工作图形界面，根据工作图形界面来判断光刻机的各个参数是否出现异常，更加直观的对比出设备各项参数状态的变化，解决了传统方式依靠工程师停机检查及设备仪器检测时效性低的问题，同时避免了因为设备参数变化跟踪不及时导致产品的批量报废。