本发明属于能量检测领域，公开了一种光刻机能量检测装置及检测方法，装置包括安装板，安装板固定安装在光刻机运动机构中，安装板的前端面横向固定设置有两根导轨，安装板的一侧固定设置有伺服电机，伺服电机通过同步轮同步带驱动有安装座，安装座通过滑块滑动设置在两根导轨之间。本发明通过CCD和能量探头的配合使用，对光刻机的出光进行精确到像素点的能量检测，便于对光刻机的出光能量均匀性进行更精确的检测，有效提高光刻机的曝光精度，防止因衰减片的老化而出现测量误差；通过衰减片的使用，有效提高CCD可检测的能量范围，通过同步带的使用，有效降低能量检测装置的重量，有效减少运动机构的变形量。