本公开提供一种用于冲洗晶圆容器以清洁晶圆的气体冲洗装置以及方法。气体冲洗装置包括第一喷嘴以及气门。第一喷嘴通过前置式晶圆盒的第一端连结前置式晶圆盒。气门通过第一管道连结第一喷嘴。气门包括第一质量流量控制器、第二质量流量控制器以及第一切换单元。第一质量流量控制器经配置以控制第一流量的第一气体。第二质量流量控制器经配置以控制第二流量的第二气体。第一切换单元耦合第一质量流量控制器以及第二质量流量控制器，且经配置以根据制程组态，通过第一管道提供第一喷嘴第一气体或通过第一管道接收第一喷嘴的第二气体。