喷嘴的位置调整方法和液处理装置
公开
摘要

本发明涉及喷嘴的位置调整方法和液处理装置。使用低分辨率的摄像图像,准确地调整喷出喷嘴相对于旋转保持部的位置。一种在液处理装置中进行喷嘴的位置调整的方法,其包括以下工序:一边使用于保持基板并使其旋转的旋转保持部在未保持基板的状态下旋转,一边利用配设为在摄像区域中包含旋转保持部的摄像部进行多次摄像;将多次的摄像结果合成并获取合成图像;利用图案匹配从合成图像确定旋转保持部在摄像图像上的位置;在使调整用喷嘴移动至基准位置的状态下利用摄像部进行摄像;根据摄像结果确定调整用喷嘴在摄像图像上的位置;以及基于根据旋转保持部在摄像图像上的位置而确定的目标位置和调整用喷嘴在摄像图像上的位置的差来校正基准位置。

基本信息
专利标题 :
喷嘴的位置调整方法和液处理装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114377891A
申请号 :
CN202111109907.8
公开(公告)日 :
2022-04-22
申请日 :
2021-09-18
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
松浦和宏羽山隆史桾本裕一朗
申请人 :
东京毅力科创株式会社
申请人地址 :
日本东京都
代理机构 :
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
刘新宇
优先权 :
CN202111109907.8
主分类号 :
B05B15/68
IPC分类号 :
B05B15/68  H01L21/67  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置;雾化装置;喷嘴
B05B15/00
其他类目中不包括的喷射设备或喷射装置的零件;附件
B05B15/60
安装、支撑或保持喷雾器的装置
B05B15/68
调整喷头位置的装置
法律状态
2022-04-22 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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