基板处理系统、控制方法以及计算机可读取的存储介质
公开
摘要
本发明提供一种基板处理系统、控制方法及计算机可读取的存储介质，能够事先防止将允许范围外的电压施加于基板处理装置的特定配件。基板处理系统具有：基板处理装置，其具有用于进行基板的处理的处理容器和对所述处理容器内的特定配件施加直流电压的直流电源；控制部，其控制所述基板处理装置，其中，所述控制部执行的处理包括以下处理：获取在基于期望的工艺条件进行的基板的处理中测定出的所述直流电压的实测值和所述工艺条件；以及基于获取到的所述工艺条件和所述直流电压的实测值，来生成以所述工艺条件中的多个条件为说明变量来计算所述直流电压的估计值的回归分析式。
基本信息
专利标题 ：
基板处理系统、控制方法以及计算机可读取的存储介质
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114388327A
申请号 ：
CN202111175798.X
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2021-10-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
穆罕默德·菲依鲁斯·宾布迪曼木野周高良穣二
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘新宇
优先权 ：
CN202111175798.X
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
