WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测方法
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摘要
WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测方法，属于X射线聚焦镜内壁非接触检测技术领域。包括以下步骤：S5.用激光自准直仪确定镜筒主轴回转和垂直轴的偏心量、记录；S6.调整X位移台、长距离干涉测头和聚焦型短距离干涉测头到合适的位置，使其处于有效工作范围内；S7.控制高精度气浮主轴带动长距离干涉测头和聚焦型短距离干涉测头旋转一周，测量此处截面圆度；S8.移动升降导轨，根据需要测量多个截面圆度；S9.实时调整X位移台位置，通过控制升降导轨测量母线精度；S10.控制高精度气浮主轴旋转到一定角度，测量多条母线精度；S11.分析测量数据，得到镜筒内壁的面形精度。本发明可实现镜片内壁轴向和圆周方向的轮廓测量。
基本信息
专利标题 ：
WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113847886A
申请号 ：
CN202111193022.0
公开（公告）日 ：
2021-12-28
申请日 ：
2021-10-13
授权号 ：
CN113847886B
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
王波廖秋岩李铎丁飞薛家岱乔政吴言功杨彦佶陈勇
申请人 ：
哈尔滨工业大学
申请人地址 ：
黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
代理机构 ：
哈尔滨龙科专利代理有限公司
代理人 ：
郭莹莹
优先权 ：
CN202111193022.0
主分类号 ：
G01B11/24
IPC分类号 ：
G01B11/24 G01B9/02
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2022-04-22 ：
授权
2022-01-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/24
申请日 : 20211013
申请日 : 20211013
2021-12-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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