WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置

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摘要

WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置，属于X射线聚焦镜内壁非接触检测技术领域。该检测装置用于保证大批量镜片内壁的检测精度，确保大尺寸超薄镜片低变形的同时提高检测效率。所述主动吊装装置通过支架支撑，用于吊起镜筒，所述测量装置用于侧面镜筒的圆度误差和轮廓误差，测量装置安装在高精度气浮主轴上，由高精度气浮主轴带动其旋转测量，所述高精度气浮主轴安装在XY平移台上，所述XY平移台安装在支架上。本发明针对现有的通用测量仪器无法对WolterI型X射线聚焦镜内壁的面形精度进行直接检测，可实现镜片内壁轴向和圆周方向的轮廓测量，保证了检测过程中镜片的低变形、高精度，提高了检测效率，达到了降本增效的效果。

基本信息

专利标题：

WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN113884023A

申请号：

CN202111194457.7

公开（公告）日：

2022-01-04

申请日：

2021-10-13

授权号：

CN113884023B

授权日：

2022-05-10

发明人：

王波廖秋岩李铎丁飞薛家岱乔政吴言功杨彦佶陈勇

申请人：

哈尔滨工业大学

申请人地址：

黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

代理机构：

哈尔滨龙科专利代理有限公司

代理人：

郭莹莹

优先权：

CN202111194457.7

主分类号：

G01B11/24

IPC分类号：

G01B11/24 G01B9/02