用于处理基板的装置和用于测量消耗性部件的磨损程度的方法
实质审查的生效
摘要
一种用于处理基板的装置，包括：处理室，其具有处理空间；支撑单元，其在处理空间中支撑基板；升降销模块，其具有升降销，该升降销沿上/下方向移动支撑单元上的消耗性部件；和测量单元，其测量消耗性部件的磨损程度并具有光接收构件，该光接收构件接收沿水平方向发射的光。
基本信息
专利标题 ：
用于处理基板的装置和用于测量消耗性部件的磨损程度的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114373668A
申请号 ：
CN202111202515.6
公开（公告）日 ：
2022-04-19
申请日 ：
2021-10-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
元喆浩
申请人 ：
细美事有限公司
申请人地址 ：
韩国忠清南道
代理机构 ：
北京市中伦律师事务所
代理人 ：
钟锦舜
优先权 ：
CN202111202515.6
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-05-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20211015
申请日 : 20211015
2022-04-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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