表面处理设备及表面处理方法
实质审查的生效
摘要
本发明构思提供一种用于处理待处理物体的表面的方法，其中设置在用于处理诸如晶圆等基材的设备中且被污染的部件作为待处理物体。在实施例中，该表面处理方法包括：在其中设置有前述物体的气氛中形成真空且通过第一粒子与物体的表面上的污染物的碰撞以超音速速率来清洁该物体的表面。
基本信息
专利标题 ：
表面处理设备及表面处理方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114433561A
申请号 ：
CN202111271116.5
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2021-10-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
俞昇男金善一
申请人 ：
细美事有限公司
申请人地址 ：
韩国忠清南道
代理机构 ：
北京市中伦律师事务所
代理人 ：
钟锦舜
优先权 ：
CN202111271116.5
主分类号 ：
B08B5/02
IPC分类号 ：
B08B5/02 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B5/00
利用空气流动或气体流动的清洁方法
B08B5/02
用喷气力来清洁，如吹清凹处
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 5/02
申请日 : 20211029
申请日 : 20211029
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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