基于MEMS技术的微粒子加速装置
授权
摘要
一种基于MEMS技术的微粒子加速装置，包括：依次连接的高压贮气罐、减压阀、气体稳压器、电磁阀驱动控制电路、电磁阀、MEMS微加速管，本发明能够精确控制粒子发射速度，为微粒子冲击现象的研究提供适合实验室范围内的科研平台。本发明具有体积小、功耗低、质量轻、集成度高，成本低等优势，并且能对微粒子加速的速度进行精确控制，实用性强。
基本信息
专利标题 ：
基于MEMS技术的微粒子加速装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114018729A
申请号 ：
CN202111285398.4
公开（公告）日 ：
2022-02-08
申请日 ：
2021-11-02
授权号 ：
CN114018729B
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
慕忠成王巍吴树范易纪元
申请人 ：
上海交通大学
申请人地址 ：
上海市闵行区东川路800号
代理机构 ：
上海交达专利事务所
代理人 ：
王毓理
优先权 ：
CN202111285398.4
主分类号 ：
G01N3/307
IPC分类号 ：
G01N3/307 G01N3/02 G01M7/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N3/18
••在高温或低温下进行试验
G01N3/30
用一次冲击力
G01N3/307
通过一拉伸或压缩的弹簧产生的；通过气动或液压装置产生的
法律状态
2022-05-17 ：
授权
2022-02-25 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 3/307
申请日 : 20211102
申请日 : 20211102
2022-02-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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