本发明提供一种微粒子的制造方法及制造装置，能够制造并获得良好的粒度分布的微粒子。本发明的微粒子的制造方法是：将微粒子制造用原料间歇地供给至调制感应热等离子体焰中，使原料蒸发而成为气相状态的混合物，再将混合物冷却来制造所述微粒子；在该微粒子的制造方法中，产生温度状态受到时间调制后的调制感应热等离子体焰来作为热等离子体焰，并且使调制感应热等离子体焰周期性地成为高温状态及比高温状态温度更低的低温状态，当调制感应热等离子体焰处在高温状态的期间，将原料与载气一起供给，当调制感应热等离子体焰处在低温状态的期间，则停止供给原料，只供给与载气相同种类的气体。