本发明涉及纳米材料力学性能测试相关技术领域，公开了一种用于超硬材料原位力学加载的微拉伸系统及其制造方法，包括以下步骤：S1：设定用于原位力学加载的超硬材料样品尺寸；S2：设定用于超硬材料原位力学加载的微拉伸系统的加载段结构；S3：设定用于超硬材料原位力学加载的微拉伸系统结构；S4：建立样品和微拉伸系统加载段的网格模型；S5：通过有限元素法仿真计算原位力学加载的过程。通过优化设计、仿真校验的方法，使得所设计的微拉伸系统可用于超硬材料这类高强度样品的单轴均匀应变加载；通过凹槽区、弹簧区和连接区的设置，可实现对高强度样品如：金刚石、氧化镓、氮化铝、氮化硼等超宽带隙半导体材料的均匀应变加载。