低温泵系统及其监视方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种能够在真空处理装置的运转期间容易确认与低温泵相关的信息的低温泵系统。低温泵系统(100)具备：低温泵(10)；低温泵控制器(110)，控制低温泵(10)；网络(120)，连接低温泵(10)与低温泵控制器(110)，并在低温泵(10)与低温泵控制器(110)之间传输与低温泵(10)相关的信息；及低温泵监视器(130)，与网络(120)连接，并且显示经由网络(120)传输的与低温泵(10)相关的信息。低温泵控制器(110)配置于真空处理装置(200)的框体(206)内，低温泵监视器(130)配置于真空处理装置(200)的框体(206)外。
基本信息
专利标题 ：
低温泵系统及其监视方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114542421A
申请号 ：
CN202111347327.2
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2021-11-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
高桥走
申请人 ：
住友重机械工业株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
郝传鑫
优先权 ：
CN202111347327.2
主分类号 ：
F04B37/08
IPC分类号 ：
F04B37/08 F04B49/06 F04B51/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B37/00
专门适用于弹性流体的并且其相关特征不包含在F04B 25/00至F04B 35/00组中或与上述各组无关的泵
F04B37/06
用热力法抽出
F04B37/08
用冷凝或冷冻，如低温泵
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : F04B 37/08
申请日 : 20211115
申请日 : 20211115
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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