低温泵及低温泵的监视方法
授权
摘要
低温泵(10)具有气体的冷凝层的容纳空间(65)，并且具备：第1级低温板(18)，具有以包围容纳空间(65)的方式配置的第1级低温板内表面；及第2级低温板(20)，其配置成与容纳空间(65)一起被第1级低温板内表面包围。第1级热负荷从低温泵(10)的外部通过进气口(12)入射于第1级低温板内表面，气体从低温泵(10)的外部进入容纳空间(65)。第1级低温板(18)被冷却至比气体的冷凝温度更高的温度，第2级低温板(20)被冷却至气体的冷凝温度以下的温度，气体的冷凝层堆积在其上。低温泵(10)基于第1级热负荷的变化来监视容纳空间(65)内的冷凝气体量。
基本信息
专利标题 ：
低温泵及低温泵的监视方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112639288A
申请号 ：
CN201980055056.8
公开（公告）日 ：
2021-04-09
申请日 ：
2019-08-01
授权号 ：
CN112639288B
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
谷津贵裕
申请人 ：
住友重机械工业株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
郝传鑫
优先权 ：
CN201980055056.8
主分类号 ：
F04B37/08
IPC分类号 ：
F04B37/08 F04B37/16
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B37/00
专门适用于弹性流体的并且其相关特征不包含在F04B 25/00至F04B 35/00组中或与上述各组无关的泵
F04B37/06
用热力法抽出
F04B37/08
用冷凝或冷冻，如低温泵
法律状态
2022-05-13 ：
授权
2021-04-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : F04B 37/08
申请日 : 20190801
申请日 : 20190801
2021-04-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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