内置式低温泵
授权
摘要
本实用新型涉及低温泵技术领域，公开了内置式低温泵，其包括制冷机(1)和冷板组件(2)，制冷机(1)与冷板组件(2)连接并冷却冷板组件(2)，还包括泵口法兰(3)，制冷机(1)和冷板组件(2)均固装在泵口法兰(3)上，泵口法兰(3)与待真空腔室(5)的开口处配合并实现密封，冷板组件(2)伸入待真空腔室(5)内并通过泵口法兰(3)进行固定。本实用新型通过无泵壳设计和内置于腔体腔体，使冷板组件于腔体内气体充分接触，这使得冷板组件对气体的吸附更加均匀，有效面积增大，吸附速度较传统低温泵有量级提升，同时由于其有效面积的增大，冷板组件对气体的吸留极限也有量级的提升。
基本信息
专利标题 ：
内置式低温泵
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922393345.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-27
授权号 ：
CN212202389U
授权日 ：
2020-12-22
发明人 ：
陈家富冯寅兵呼鹏
申请人 ：
浙江博开机电科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省金华市浦江县一点红大道966号A幢3楼301室
代理机构 ：
浙江杭知桥律师事务所
代理人 ：
施贻华
优先权 ：
CN201922393345.9
主分类号 ：
F04B37/08
IPC分类号 ：
F04B37/08
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B37/00
专门适用于弹性流体的并且其相关特征不包含在F04B 25/00至F04B 35/00组中或与上述各组无关的泵
F04B37/06
用热力法抽出
F04B37/08
用冷凝或冷冻，如低温泵
法律状态
2020-12-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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