一种用于检测前驱体材料气化特性的装置及使用方法
实质审查的生效
摘要

本发明涉及反应釜技术领域,具体为一种用于检测前驱体材料气化特性的装置及使用方法,包括反应釜本体,所述反应釜本体的内部开设有反应室,所述反应釜本体的侧壁固定安装有用于向反应室的内部投入物料的导料管,所述反应釜本体的侧壁固定安装有排料管,所述导料管以及排料管的内部均设有控制阀,还包括S1,投料;S2,掺料;S3,气化;S4,收集。本发明通过电机带动反应室内部的转轴转动,对反应室内部的物料进行搅拌,进而提高反应室内部物料间的混合度,带动多个金属板转动,使得金属板快速地发热,然后对反应室内部的物料进行加热,加快反应室内部物料的气化,从而提高气体逸出的效率。

基本信息
专利标题 :
一种用于检测前驱体材料气化特性的装置及使用方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114354440A
申请号 :
CN202111432432.6
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2021-11-29
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈德义颜桂花
申请人 :
南大光电半导体材料有限公司
申请人地址 :
安徽省滁州市全椒县十字镇十谭产业园新城大道117号
代理机构 :
广州高炬知识产权代理有限公司
代理人 :
薛鹏
优先权 :
CN202111432432.6
主分类号 :
G01N7/16
IPC分类号 :
G01N7/16  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N7/00
通过测量气体或蒸气的压力或体积分析材料
G01N7/14
使材料发出气体或蒸气,例如水蒸气,并测量压力差或体积差
G01N7/16
将材料加热
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 7/16
申请日 : 20211129
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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