前驱体材料气化特性的测定装置
授权
摘要
本实用新型涉及前驱体材料气化特性的测定装置，载气储罐，提供载气源；载气流量调节阀，调节载气流量，连接于载气储罐与载气流量计之间；载气流量计，控制载气流量，与前驱体钢瓶连接；气压计，测定前驱体钢瓶内被测样品的气相分压；温度计二，测定前驱体钢瓶内被测样品温度；前驱体钢瓶，置于恒温加热控温模块中，二者置于热重分析仪上；温度计一，测定恒温加热控温模块温度；混合气流量调节阀，调节样品气流量，连接于前驱体钢瓶与颗粒度仪之间；颗粒度仪，测定液体前驱体材料汽化后气相产品的颗粒物含量；混合气流量计，与颗粒度仪连接；截止阀，连接于混合气流量计与液氮冷阱和样品回收装置之间。实现全方位评估前驱体材料气化特性。
基本信息
专利标题 ：
前驱体材料气化特性的测定装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122978230.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-26
授权号 ：
CN216285188U
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
陈德义颜桂花钱瑶王荣
申请人 ：
南大光电半导体材料有限公司
申请人地址 ：
安徽省滁州市全椒县十字镇十谭产业园新城大道117号
代理机构 ：
江苏圣典律师事务所
代理人 ：
王玉国
优先权 ：
CN202122978230.3
主分类号 ：
G01N33/00
IPC分类号 ：
G01N33/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N33/00
利用不包括在G01N1/00至G01N31/00组中的特殊方法来研究或分析材料
法律状态
2022-04-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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