带减振结构的封装管壳及MEMS惯性器件
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种带减振结构的封装管壳及MEMS惯性器件，所述带减振结构的封装管壳，包括管壳本体及多个减振结构，多个所述减振结构采用弹性材料，嵌入在所述管壳本体中并呈对称状分布。所述MEMS惯性器件包括盖板、MEMS芯片和上述的带减振结构的封装管壳，所述MEMS芯片与所述封装管壳电连接，所述盖板与所述封装管壳气密性连接。本发明通过在管壳结构上添加减振结构达到使MEMS惯性器件减振，可以有效的减小有害振动、冲击对MEMS惯性器件的破坏。
基本信息
专利标题 ：
带减振结构的封装管壳及MEMS惯性器件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114380268A
申请号 ：
CN202111433887.X
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2021-11-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
赵思晗慕蓉欣成宇翔段杰赵万良应俊
申请人 ：
上海航天控制技术研究所
申请人地址 ：
上海市闵行区中春路1555号
代理机构 ：
上海元好知识产权代理有限公司
代理人 ：
曹媛
优先权 ：
CN202111433887.X
主分类号 ：
B81B7/02
IPC分类号 ：
B81B7/02 B81B7/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B7/00
微观结构系统
B81B7/02
包括功能上有特定关系的不同的电或光学装置，例如微电子—机械系统
法律状态
2022-05-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B81B 7/02
申请日 : 20211129
申请日 : 20211129
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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