一种氢气传感器及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种氢气传感器及其制备方法，属于传感器技术领域，用于解决目前氢气传感器抗干扰性能弱的技术问题，氢气传感器具体包括硅片衬底，所述硅片衬底上设有薄膜电气隔离层，所述薄膜电气隔离层上设有加热电阻、测温电阻和氢敏电阻，所述加热电阻、测温电阻和氢敏电阻均设置有引线端，所述氢敏电阻的上方设有一层有机聚合物薄膜层。本发明具有性能稳定、寿命长、成本低、抗干扰性能好等优点。
基本信息
专利标题 ：
一种氢气传感器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114280107A
申请号 ：
CN202111449733.X
公开（公告）日 ：
2022-04-05
申请日 ：
2021-11-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
谢贵久张浩车颜贤何峰丁玎张月鑫
申请人 ：
中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请人地址 ：
湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
代理机构 ：
湖南兆弘专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
廖元宝
优先权 ：
CN202111449733.X
主分类号 ：
G01N27/12
IPC分类号 ：
G01N27/12 G01K7/18
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/04
通过测试电阻
G01N27/12
与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻
法律状态
2022-04-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 27/12
申请日 : 20211130
申请日 : 20211130
2022-04-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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