一种氢气传感器及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本申请公开一种氢气传感器及其制备方法,该氢气传感器包括:基底和沿远离基底的方向上依次设置的第一薄膜、传感器组件和第二薄膜;基底朝向第一薄膜的一侧设置有绝热通腔,部分第一薄膜设置在绝热通腔的腔体开口处;传感器组件包括布置于第一薄膜上的第一电阻、第二电阻和环境温度电阻,第一电阻与第二电阻相邻布置;第一电阻与第二电阻设置于绝热通腔的腔体开口范围内;基底上还设置有贯穿基底且穿过绝热通腔的腔体的气体交换通道,气体交换通道设置在远离第一薄膜的一侧,本申请制备的氢气传感器能够检测浓度小于等于0.1%的氢气,且具有响应时间短、使用寿命长和热容低的优势,进而有助于提了车辆的安全性能。
基本信息
专利标题 :
一种氢气传感器及其制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114323449A
申请号 :
CN202111522564.8
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-12-13
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
马可贞沈方平徐晓苗吴楠张梦
申请人 :
苏州芯镁信电子科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市吴中区东吴北路8号国裕大厦一期1504-3室
代理机构 :
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 :
苗芬芬
优先权 :
CN202111522564.8
主分类号 :
G01M3/02
IPC分类号 :
G01M3/02 G01N27/18
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M3/00
结构部件的流体密封性的测试
G01M3/02
应用流体或真空
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01M 3/02
申请日 : 20211213
申请日 : 20211213
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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