本发明公开了一种超薄可拉伸薄膜电极的制备方法，将二甲基硅氧烷与交联剂混合后，滴于水相液面，加热预固化后得到聚二甲基硅氧烷薄膜，转移到环形衬底上得到电极基底；将电极基底吸附在硅片上，并在电极基底上的聚二甲基硅氧烷薄膜上蒸镀金属导电层，得到电极。本发明通过液体表面铺展法制备聚二甲基硅氧烷薄膜，预固化后，在其表面蒸镀金属制备导电层，同时聚二甲基硅氧烷薄膜完全固化，部分金属渗入到薄膜中，显著增加了导电层与基底的作用力，使得所制备的薄膜电极具有优异的稳定性。本发明提供的电极，其厚度可小于10μm，与皮肤具有较好地贴附，能够实现对人体生理电信号的高性能监测。