柔性铝电极薄膜的制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种柔性铝电极薄膜的制备方法，旨在提供一种界面稳定，无扩散现象的电极薄膜的制备方法。利用磁控溅射法制备，包括下述步骤：将铝靶材固定在真空室中的直流靶头上，将基底上带有碲化铋基薄膜的样品放置在样品台上；抽真空；打开样品旋转；升温样品台温度，温度设定为140‑250℃，将加热电流调到0.5‑2mA缓慢升温；达到预设温度后，通入氩气到真空度为0.15‑0.7Pa；进行磁控溅射：溅射功率为50‑70W，溅射时间为1.5‑4小时；原位退火处理；降温。该方法所得铝电极薄膜具有高导电性能，高柔韧性且与基底结合力强。所的碲化铋薄膜和铝电极薄膜界面稳定，无扩散现象，具有高稳定性。
基本信息
专利标题 ：
柔性铝电极薄膜的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114540767A
申请号 ：
CN202210081781.6
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-01-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王亚玲谭明张梦娇刘小标王静李辉李聪
申请人 ：
河南农业大学
申请人地址 ：
河南省郑州市金水区农业路63号
代理机构 ：
天津市三利专利商标代理有限公司
代理人 ：
肖莉丽
优先权 ：
CN202210081781.6
主分类号 ：
C23C14/20
IPC分类号 ：
C23C14/20 C23C14/35 C23C14/54 C23C14/58 H01L35/08 H01L35/32 H01L35/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
C23C14/14
金属材料、硼或硅
C23C14/20
在有机物基体上
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/20
申请日 : 20220124
申请日 : 20220124
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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