一种柔性薄膜及其制备方法与基于柔性薄膜的传感器
公开
摘要
本发明属于柔性力学传感器以及微机电技术领域，具体为一种表面具有经过修饰后的微锥台阵列结构的柔性薄膜及其制备方法，及基于此柔性薄膜制备的传感器，解决了背景技术中的技术问题，柔性薄膜的正面具有均匀分布的多个微米级正四棱锥台结构，正四棱锥台结构的表面辅以多个随机、紧密排列的纳米级凸起结构。本发明的表面具有经过修饰后的微锥台阵列结构的柔性薄膜表面具有微纳米级别结构，可有效提升薄膜表面比表面积，利用本发明的三种柔性力学传感器的灵敏度高、微弱压力感知能力强和测量范围广；本发明所述的方法操作步骤简单，而且实施条件要求低，满足生产成本等要求，可利用硅片模板批量制备柔性薄膜。
基本信息
专利标题 ：
一种柔性薄膜及其制备方法与基于柔性薄膜的传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114295261A
申请号 ：
CN202210025798.X
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2022-01-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
余俊斌丑修建何剑侯晓娟穆继亮耿文平崔浩然崔建峰
申请人 ：
中北大学
申请人地址 ：
山西省太原市尖草坪区学院路3号
代理机构 ：
太原科卫专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
张彩琴
优先权 ：
CN202210025798.X
主分类号 ：
G01L1/14
IPC分类号 ：
G01L1/14 G01L1/20 B81B7/02 B81C1/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/14
通过测量电元件的电容量或电感量的变化，例如，测量电振荡器的频率变化
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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