一种声表面波谐振器
实质审查的生效
摘要
本发明涉及微电子器件技术领域，本发明公开了一种声表面波谐振器。该声表面波谐振器包括由下至上依次层叠的支撑衬底、压电薄膜、叉指换能器和两个反射栅单元；叉指换能器的两侧分别设有一个反射栅单元；叉指换能器包括第一汇流条、第二汇流条和叉指电极单元；叉指电极单元包括第一电极、第二电极和第一阻碍结构；第一电极的第一端与第一汇流条连接；第二电极包括相对的第二端和第一自由端；第二端与第二汇流条连接；第一阻碍结构位于第一自由端与第一汇流条之间的区域。能够实现在抑制杂散模的同时保证主模特性的不变。
基本信息
专利标题 ：
一种声表面波谐振器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114337582A
申请号 ：
CN202111465935.3
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
欧欣姚虎林张师斌
申请人 ：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请人地址 ：
上海市长宁区长宁路865号
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
苗芬芬
优先权 ：
CN202111465935.3
主分类号 ：
H03H9/145
IPC分类号 ：
H03H9/145 H03H9/02 H03H9/25
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/145
申请日 : 20211203
申请日 : 20211203
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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