风刀真空闪蒸辅助狭缝涂布制备钙钛矿薄膜的方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种风刀真空闪蒸辅助狭缝涂布制备钙钛矿薄膜的方法，包含以下步骤：a.配制钙钛矿前驱体溶液；b.使用风刀气流配合狭缝涂布制备钙钛矿前驱体薄膜；c.采用真空闪蒸工艺辅助钙钛矿前驱体薄膜成膜；d.将钙钛矿前驱体薄膜在退火，得到钙钛矿薄膜。本发明采用风刀气流辅助狭缝涂布制备出均匀无孔洞的中间相湿膜，再采用真空闪蒸迅速去除剩余溶剂，经退火后得到高质量钙钛矿薄膜，有效降低大面积制备钙钛矿薄膜的难度，得到的钙钛矿薄膜无缩孔、膜面质量高。
基本信息
专利标题 ：
风刀真空闪蒸辅助狭缝涂布制备钙钛矿薄膜的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114420850A
申请号 ：
CN202111472549.7
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2021-12-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
不公告发明人
申请人 ：
深圳黑晶光电技术有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区新安街道大浪社区裕安二路362号大家好广场厂房B栋502
代理机构 ：
广东广盈专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
李俊
优先权 ：
CN202111472549.7
主分类号 ：
H01L51/48
IPC分类号 ：
H01L51/48
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 51/48
申请日 : 20211203
申请日 : 20211203
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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