本发明提供了一种基于阵列光源的超分辨数字全息测量装置及方法，该装置和方法属于光学成像和数字全息技术领域。针对现有技术存在的难以满足环境复杂的实际检测需求的不足。本发明提供的技术方案包括计算机、电源装置和光学组件，所述光学组件包括阵列光源和依次设置于阵列光源光路上的准直镜、第一分光棱镜和第一平面反射镜，所述第一分光棱镜的参考光路上设置有第二平面反射镜，第一平面反射镜的物光路上设置有第二分光棱镜和远心成像镜头，图像传感器，位于远心成像镜头的像面上且与计算机连接，测试时，将待测样品设置于平面反射镜和分光棱镜之间且位于远心成像镜头的物面上，通过一定的方法进行测量。