用于酸敏感溶剂的膜及其用途
公开
摘要
本申请案涉及用于酸敏感溶剂的膜及其用途。本公开提供对实行移除流体组合物中的金属及金属离子污染物有用的某些强阳离子改性离子交换树脂及膜。具有显著减少量的金属的经过滤液体组合物、例如用于移除光致抗蚀剂的液体可用于微电子制造工艺中。本公开的阳离子改性离子交换树脂及膜可经配置用于微电子制造系统中,其可在所述系统中用作进入所述系统的液体的使用点金属移除特征。有利地,本公开的过滤材料及方法在以下方面表现出明显改进:其防止液体组合物中的酮(例如,环己酮)发生降解并形成发色体以及二聚及低聚材料,且同时不损害所述过滤材料移除非所要金属离子的能力。
基本信息
专利标题 :
用于酸敏感溶剂的膜及其用途
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114618318A
申请号 :
CN202111490962.6
公开(公告)日 :
2022-06-14
申请日 :
2021-12-08
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
J·哈姆齐克J·A·贾比尔
申请人 :
恩特格里斯公司
申请人地址 :
美国马萨诸塞州
代理机构 :
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 :
李婷
优先权 :
CN202111490962.6
主分类号 :
B01D69/02
IPC分类号 :
B01D69/02 B01D71/10 B01D71/14 B01D71/26 B01D71/28 B01D71/48 B01D71/50 B01D71/56 B01D71/64 B01D71/68 B01J39/08 B01J39/19 B01J39/20 B01J39/22
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D69/00
以形状、结构或性能为特征的用于分离工艺或设备的半透膜;其专用制备方法
B01D69/02
以性能为特征
法律状态
2022-06-14 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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