一种基于光热折变玻璃的多波长锁波器及其制备方法
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摘要

本发明公开了一种基于光热折变玻璃的多波长锁波器及其制备方法,其中,方法包括步骤:采用双束紫外平行光形成的干涉条纹以及第一次曝光量对光热折变玻璃进行曝光,曝光角度为θ1,则对应写入光栅的周期为Λ1,对应的中心波长为λ1;调整曝光角度至θ2,采用第二次曝光量对所述光热折变玻璃进行曝光,则对应写入光栅的周期为Λ2,对应的中心波长为λ2;依次调整曝光角度至θn,采用第n次曝光量对所述光热折变玻璃进行曝光,则对应写入光栅的周期为Λn,对应的中心波长为λn;对曝光后的光热折变玻璃进行热显影,然后进行切割、精抛处理,最后在光热折变玻璃上镀制减反膜,制得同时实现对多种波长的半导体激光器进行波长锁定和光谱带宽压窄的多波长锁波器。

基本信息
专利标题 :
一种基于光热折变玻璃的多波长锁波器及其制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113904213A
申请号 :
CN202111492667.4
公开(公告)日 :
2022-01-07
申请日 :
2021-12-08
授权号 :
CN113904213B
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
胡红雷晋帅宋学智嵇舒豪
申请人 :
杭州拓致光电科技有限公司
申请人地址 :
浙江省杭州市富阳区春江街道江南路68号第23幢303室
代理机构 :
深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
徐凯凯
优先权 :
CN202111492667.4
主分类号 :
H01S5/06
IPC分类号 :
H01S5/06  G02B5/18  
法律状态
2022-04-01 :
授权
2022-01-25 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01S 5/06
申请日 : 20211208
2022-01-07 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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