本发明公开了一种基于MEMS微振镜光路结构的消散斑方法，包括以下步骤：S1、通过激光发射器将激光通过透镜投射到一维MEMS微振镜a上，一维MEMS微振镜a从静止状态，转变为镜面在垂直方向上存微小、高频的振动；S2、激光经一维MEMS微振镜a的全反射投射到一维MEMS微振镜b上，线激光经过一维MEMS微振镜b后被投射至漫反射标准板；S3、激光在漫反射标准板上呈现带有散斑的图案；图像传感单元计算散斑半径和散斑对比度，并将散斑半径值与散斑对比度反馈至消散斑控制单元；S4、消散斑控制单元根据得到的散斑对比度C，计算角度变化参数，并将其反馈给一维MEMS微振镜a，控制MEMS微振镜a振动；S5、角度反馈单元将角度θ以及频率f参数反馈至激光发射器，进行实时控制。