本发明属于有机硅领域，具体公开了一种用于有机硅粗单体分离系统的逆序并流节能方法及装置。首先将送入塔系统的粗单体经过脱高塔及高沸塔系统除去高沸物，之后再分为两股，分别经过高压/低压二元塔系统，从塔釜得到合格的二甲产品，塔顶的粗一甲则汇合成一股，经一甲塔系统采出一甲产品，之后再过经轻分塔、一甲含氢塔、共沸塔、三甲塔依次采出低沸物、一甲含氢、共沸物、三甲产品；同时，通过调节阀调节并分配流入高压二元塔和低压二元塔的无高沸粗单体流量，使高压二元塔的塔顶物料冷凝热恰巧足够用来给低压二元塔塔底再沸器供热。通过此方法，可在较简洁的精馏结构下，实现有机硅精馏工艺流程的显著节能节水效果，具备较高的经济效益。