晶圆测厚装备抗温度干扰的精密运动平台控制算法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种算法，以晶圆量测装备、精密运动、伺服控制系统为背景，针对高精度测量设备运动平台应该具高精准度、抗温度变化、高抗干扰等特点，提出一种基于鲁棒控制的运动控制算法，该算法可实现运动平台的快速性和准确性，且能对温度变化作出快速调整，并且采用前馈控制对定位进行精调，从而提升系统的可靠性和抗干扰性。
基本信息
专利标题 ：
晶圆测厚装备抗温度干扰的精密运动平台控制算法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114518705A
申请号 ：
CN202111536044.2
公开（公告）日 ：
2022-05-20
申请日 ：
2021-12-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
杨亮亮陈洪立俞智勇钱琛王强
申请人 ：
江苏希太芯科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市南通高新区新世纪大道266号江海智汇园A2楼313、314
代理机构 ：
南通国鑫智汇知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
顾新民
优先权 ：
CN202111536044.2
主分类号 ：
G05B13/04
IPC分类号 ：
G05B13/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制；调节
G05B
一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置
G05B13/00
自适应控制系统，即系统按照一些预定的准则自动调整自己使之具有最佳性能的系统
G05B13/02
电的
G05B13/04
包括使用模型或模拟器的
法律状态
2022-06-07 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G05B 13/04
申请日 : 20211215
申请日 : 20211215
2022-05-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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