一种CrAlVSiN涂层的制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明属于表面工程技术领域，具体涉及一种CrAlVSiN涂层的制备方法，该CrAlVSiN涂层包括过渡层、中间层和功能层，过渡层沉积于基材表面，中间层沉积于过渡层上，功能层沉积于中间层上；过渡层为TiAlN，中间层为CrAlTiN；功能层为CrAlTiN。本发明通过引入射频、脉冲等辉光放电，或霍尔放电模式引入高能离子束进行活化处理，优化过程参数，实现了CrAlVSiN硬质涂层膜基结合力的提升，制备获得的CrAlVSiN涂层硬度高、耐磨性强并且抗高温氧化，在作为刀具、模具和轴承的表面功能涂层时能够表现出良好的切削寿命、抗粘附性和强化保护作用。
基本信息
专利标题 ：
一种CrAlVSiN涂层的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114351087A
申请号 ：
CN202111536148.3
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2021-12-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
钟利陈美艳唐德礼王新超许泽金刘旋崔西蓉
申请人 ：
核工业西南物理研究院;中核同创（成都）科技有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市双流西南航空港黄荆路5号
代理机构 ：
核工业专利中心
代理人 ：
陈丽丽
优先权 ：
CN202111536148.3
主分类号 ：
C23C14/06
IPC分类号 ：
C23C14/06 C23C14/02 C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
法律状态
2022-05-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/06
申请日 : 20211215
申请日 : 20211215
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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